成都(dōu)鑫南光機械設備有限公司帶大家一(yī)起來看一下成都真空鍍膜機(jī)的參數:
一、真空鍍膜機主要(yào)用途:
供製備薄膜無源微型元(yuán)件。
二、主要(yào)技術指標:
1. 蒸發室極限真空度: 4×10-4Pa
2. 蒸(zhēng)發室恢(huī)複4×10-3Pa的時(shí)間: ≤15min
3. 基片旋轉架的(de)轉(zhuǎn)速: 0~60n/min
4. 基片(piàn)烘(hōng)烤(kǎo)溫度: 室溫~350℃
5. 蒸發電極數量: 3對
6. 蒸發電極參數: 0~10伏(fú) 0~300A
7. 離子轟擊參數: 0~3000伏 0~200mA
8. 鍾罩容積: Φ500×620(mm)
9. 需要(yào)動力: 電力(lì) 10KW
10. 外形尺(chǐ)寸: 1300×830×1720(mm)
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