四川光刻機之G-25XA型高精密光刻機的產品介紹：

一（yī）、 設備（bèi）的主要用途（tú）及特點（diǎn）

本設備主要適用於對Φ100mm以（yǐ）下，厚度（dù）為5mm以下的各種基片光刻（包括非常規基片（piàn）、碎片及表麵不平整基片）

二、主要技術（shù）指標

1、對準精度：±0.5μm。

2、微動台掃描（miáo）範圍±20mm，X、Y可調範圍±4mm。

3、承片台上下可移動範（fàn）圍為5mm，改為旋轉（zhuǎn）角度≤90°。

4、采用多點光源曝光頭，光源采用GCQ350Z型高壓水銀直流汞，風（fēng）冷，（光強穩定可調，不用頻繁更換汞燈），光的不均（jun1）勻性≤±4%(Φ100 mm範圍之內) ，出射光束ΦMAX為Φ120mm。

5、采用雙目分離視場顯（xiǎn）微鏡，放大倍數50X×375X(可采用雙CCD加液（yè）晶監視器來顯（xiǎn）示，放大倍數30～189X或67.5X～420X)。

成都鑫南光機械設備有限公司是一家專業從事（shì）四川真空泵,四川（chuān）光刻機,四川氫氣爐生產及銷售批發工作的企（qǐ）業,谘詢（xún）電話:13908187709,028-85730519,擁有專 業的技術裝備和獨（dú）特的設計,具有豐富的專用設（shè）備裝配調試技術和經驗。