G-25XA型高精密（mì）光刻（kè）機

設備（bèi）概述:

本設備是我公司專門針對各大專院校及科研單（dān）位對光刻機的使用特性研發（fā）的一（yī）種精密光刻機，它主要用於中小規模集成電路、半（bàn）導體（tǐ）元器件、光電子器件、聲表麵波器件的研製和生產。

主要構成
主要由高精度對準工作台、雙目分離視場CCD顯（xiǎn）微顯示係統、GCQ350Z型高（gāo）壓（yā）水銀直流（liú）汞、氣動係統、真空管路係統、直聯（lián）式真空泵、防震工（gōng）作台和附件箱等組成。<span style="font-family:" font-weight:normal;"="">

多點光源（蠅眼）
可調光強的（de）光欄

三（sān）點找平機構
高精度X、Y、Z、Q調節機構

主要功能特點

1.適用範圍廣
  適用於Φ100mm以下，厚度5mm以下的各種基（jī）片(包（bāo）括非圓形基片)的對準曝光。
  2.結構穩定
  具（jù）有氣浮（fú）式找平機構和可實現（xiàn）真空硬接觸、軟接觸、微力（lì）接觸的真空（kōng）密著機構；具有真（zhēn）空掩膜版架、真空片吸盤。
  3.操作簡便
  采用翻板方式取片、放片；按鈕、按鍵方式操作，可實現真空吸（xī）版、吸片、吸浮球、吸掃描鎖等功能，操作、調試、維護、修理都（dōu）非常（cháng）簡便。
  4.可靠（kào）性高（gāo）
  采用進口（日本產）電磁（cí）閥、按（àn）鈕、定時器；采用獨特的氣動係統、真空管路係統和（hé）精密的機械（xiè）零件，使本機運（yùn）行具有非常高的可靠性。
  5.特設功能
  除標準承片（piàn）台外，還可以為用戶定製專用承片台，來解決非圓形基片、碎片和底麵不平的基片造成的（de）版片分（fèn）離不開所引起的版片無法對準的問題（tí）

主要技術指標

1、設備能真空吸附5"×5"方形掩板,對（duì）版的厚度無特殊要求（qiú）。

2、設備能適用於Φ100mm圓形基片（或100×100mm方形基片），基片厚度≤5mm,當（dāng）您的基片厚度≤1mm時，我公司為本機配置標準（zhǔn）承片台（不另計費），當基片厚度（dù）＞1mm時，設備需配置專用承片台（訂貨時（shí）用戶須說明，費用另議）。

3、照明：

光源：GCQ350Z型高壓水銀直（zhí）流汞。

照明範圍：≤ф117mm曝光麵（miàn）積：Φ100mm

在Φ100mm範圍內,曝光不均勻性≤±4%，曝光強度：≥5mw/cm²（此（cǐ）指標用紫外光源（yuán）I線365nm測量）。

4、本設備采用進口時間繼電器控製氣（qì）動快門，動作準確、可靠。

5、本機為（wéi）接觸式曝光機，可實現：

（1）硬（yìng）接觸曝光（guāng）：用管道真空來（lái）獲得高真空（kōng）接觸，真（zhēn）空≤-0.05MPa。

（2）軟接（jiē）觸曝光：接觸壓力可將真空降到-0.02MPa～-0.05MPa之間。

（3）微力接觸曝光：小於（yú）軟接觸，真空≥-0.02MPa。

6.曝光分辯率：本設備硬接（jiē）觸曝光的分辨度可達2μm以上。

7.對準：觀察係統為兩個單筒顯微鏡上裝二個CCD攝像（xiàng）頭，通過視屏線連接到顯視屏上。

成都鑫南光機械（xiè）設備有限公司（sī）是一家專業從事（shì）四川真空泵,四（sì）川光刻機（jī）,四川氫氣爐生產及銷售批發（fā）工作的企業（yè）,谘詢電話:13908187709,028-85730519,擁有技術裝備和（hé）獨特的設計,具有豐富的專用設備裝配調試技術和經驗。